MAGNESCALE傳感器

上海智川工貿(mào)有限公司銷售日本MAGNESCALE磁柵尺、MAGNESCALE傳感器、MAGNESCALE磁頭、MAGNESCALE數(shù)字探規(guī)、MAGNESCALE數(shù)顯表等全系列產(chǎn)品。

MAGNESCALE是一家始于1969年的日本精密測(cè)量設(shè)備制造商，前身為SONY Magnescale（索尼磁尺公司），專注于工業(yè)級(jí)位移傳感器、磁柵尺、數(shù)顯探規(guī)及高精度測(cè)量系統(tǒng)的研發(fā)與生產(chǎn) 。2010年，公司加入MORI SEIKI集團(tuán)，進(jìn)一步強(qiáng)化了數(shù)控機(jī)床和半導(dǎo)體制造設(shè)備領(lǐng)域的技術(shù)實(shí)力。以磁柵技術(shù)為核心，產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床、智能制造、半導(dǎo)體工藝、精密組裝、木石材加工、鋼鐵冶金等多個(gè)工業(yè)領(lǐng)域 。相比傳統(tǒng)的光學(xué)測(cè)量方式，MAGNESCALE的磁性測(cè)量系統(tǒng)在抗油污、抗振動(dòng)、耐溫變、高穩(wěn)定性方面具有顯著優(yōu)勢(shì)，特別適合惡劣工業(yè)環(huán)境下的長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。

MAGNESCALE其歷史始于1965年索尼的植村三良等人發(fā)明磁通響應(yīng)型磁讀頭。50多年過(guò)去了，現(xiàn)在它已變成了磁阻變化型（MR）讀頭，雖然磁性材料也發(fā)生了變化，但本質(zhì)是一樣的，都是一種磁性檢測(cè)方式的位置檢測(cè)系統(tǒng)，因此能夠適應(yīng)惡劣的環(huán)境。它不易受機(jī)床固有的結(jié)露和油污的影響，并持續(xù)具有較高的耐振動(dòng)性和耐沖擊性。此外，它還追隨機(jī)床的工作臺(tái)的熱脹冷縮。磁柵尺的進(jìn)化版是2015年發(fā)售的智能磁柵尺。這是一套在磁性傳感器中采用隧道磁阻（TMR）元件，并通過(guò)開(kāi)發(fā)新的磁性材料、信號(hào)處理電路和內(nèi)插算法將柵尺和讀頭分離的系統(tǒng)。通過(guò)分離，可以對(duì)讀頭和柵尺分別進(jìn)行防護(hù)，并且可以不用軸承等磨損零件。作為面向NC機(jī)床的柵尺，它兼具業(yè)界的IP67的耐環(huán)境性和5nm的高分辨率。

MAGNESCALE公司開(kāi)發(fā)的磁性材料中，使用具有高精度磁記錄的柵尺。此外，通過(guò)帶有檢測(cè)模式的MR傳感器（起磁阻作用的元件）除去了諧波失真分量，從而使柵尺在保持高精度的同時(shí)，還能夠適應(yīng)惡劣的環(huán)境和劇烈的溫度變化。由于磁柵尺采用磁性檢測(cè)方式，所以不易受到機(jī)床上不可避免的結(jié)露和油污的影響，即使在惡劣的環(huán)境下，也能獲得穩(wěn)定的高精度。在柵尺上會(huì)記錄2個(gè)磁道的模式。增量式磁道上刻有等間隔的SN Pitch信號(hào)，另一個(gè)磁道為了實(shí)現(xiàn)被稱為M-編碼（位置）而刻有區(qū)號(hào)。磁性檢測(cè)采用專為柵尺開(kāi)發(fā)的MR元件，實(shí)現(xiàn)了高靈敏度和低失真。

MAGNESCALE內(nèi)插處理技術(shù)是一種將從磁柵尺檢測(cè)到的信號(hào)波形分割成所需間距（細(xì)度）的技術(shù)。例如，智能磁柵尺從以400μm的間距刻出的磁刻度檢測(cè)到相位差為90度的兩個(gè)正弦波?，F(xiàn)在將其進(jìn)行電分割，但如果信號(hào)包含失真，則無(wú)法獲得準(zhǔn)確的位置信息（真值）。從柵尺檢測(cè)到的信號(hào)中除去DC分量，實(shí)時(shí)進(jìn)行電平調(diào)整和相位調(diào)整，并通過(guò)處理進(jìn)行80,000次分割，以獲得分辨率為5nm的位置信息。